이름 | 모델 | 장비이용의뢰서/예약하기 |
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E-beam lithography | 전자선 노광장치 시스템 / NB3Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Photolitho_MA6_#1 | 마스크 정렬노광기 / MA/BA6-8Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Photolitho_MDA400S | 미세패턴 정렬 노광기 / MDA-400SEquipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101) |
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