이름 | 모델 | 장비이용의뢰서/예약하기 |
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Atomic Layer Deposition | 원자층 증착 장비 / Lucida D100Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Cluster ALD | 원자층 증착 장비 / Atomic premiumEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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DC Sputter | 메탈 스퍼터링 시스템 / SRN-120Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101) |
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E-beam Evaporator(Temescal) | 전자빔 금속박막증착 장치 / FC-2000Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101) |
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E-beam Evaporator(Woosung) | 전자빔 금속박막증착 장치 / WC-4000Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101) |
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Helios 450HP FIB | 이온집속빔 / Helios NanoLab 450Equipment location : 102동 B108호 |
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NX2000 FIB | 집속이온빔 FIB / NX2000Equipment location : Bldg.102, Room B115 |
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Quanta 3D FIB | 이온집속빔 / Quanta 3D FEG |
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RF Sputter | 고주파 스퍼터링 시스템 / SRN-120Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101) |
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