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Measurement Microscope | 측정용 현미경 / Axio Scope A1

김민재 052-217-4064 mjkim@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Metal ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 금속 건식 식각기 / FABStar

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Metal ICP-RIE#2 | 유도결합플라즈마 금속 건식 식각기#2 / ICP380

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Metal RIE | 메탈 건식 식각장치 / Labstar

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)