보유장비

Plasma PR Stripper | Plasma PR Stripper (플라즈마 감광제 제거기)

보유장비 관련 정보
연구실/분야
모델명 PTP300
제조사 PINK
담당자 이선진
연락처 052-217-4193 / sunee6210@unist.ac.kr
예약 가능여부 가능
예약단위 30min 1일최대예약시간 3H
예약Open(~일 전) 14D 예약취소불가(~일 전) 0.5H
장비위치 108동 B101호
  • Description

    반도체 포토 공정(photolithography) 및 플라즈마 에칭(etching) 공정 이후 잔여 레지스트(Resist) 막 제거를 위해 사용되는 설비
    산소 플라즈마를 주로 사용하여 공정 진행

    Photo resist and polymer residue stipper after photolihography and plasma etching.
    O2 plasma is used for process.

  • Specifications

    Sample : max 8inch

    MW power : Max 500W

    Temperature : 300~500 deg

    Gas : O2, Ar

    Dry pump

  • Applications

    PR stripper, O2 plasma