Description

본 장비는 클린룸 내 설치된 원자현미경으로, 나노~마이크로 스케일 소자의 단차 및 거칠기 등 표면 특성 측정에 사용됩니다.
탐침과 시료 간 원자 간 힘을 이용해 nm 이하 정밀도로 3D 형상을 분석할 수 있으며, 다양한 시료를 대기 중에서도 고해상도로 관찰할 수 있습니다.
Z축과 XY축 스캐너는 분리되어 상호 간섭을 최소화하며, Contact, True Non-Contact, Tapping 모드를 지원합니다.

※ 연구지원본부(공정가공지원팀) 나노팹 제작 소자의 단차 및 표면 거칠기 측정에 활용됩니다.
※ 파우더 타입 시료는 측정이 불가합니다.

※ 나노팹 출입권한이 있는 학생(안전교육 이수자)에 한하여 셀프 유저 교육이 가능하며, 별도의 측정 의뢰는 지원하지 않습니다. 양해 부탁드립니다.