보유장비

AFM | 원자힘 현미경

AFM
보유장비 관련 정보
연구실/분야
모델명 Park NX20
제조사 파크시스템스
담당자 강해라
연락처 052-217-4167 / [email protected]
예약 가능여부 가능
예약단위 0.5 1일최대예약시간 4시간
예약Open(~일 전) 14일전 예약취소불가(~일 전) 2시간전
장비위치 UNIST 108동 B101호
  • Description

    1) 본 원자현미경은 클린룸 환경 내 설치된 장비로, 나노-마이크로 소자 측정용으로 제작된 탐침을 시료 표면에 가져갔을 때 생기는 원자 간의 상호 작용력 및 두께를 측정
    2) 시료의 표면을 nm 단위 이하로 3차원적 형상 분석함
    3) 대기 중에서 극초정밀 분해능으로 도체, 반도체, 부도체 등 모든 시료의 표면 관찰
    4) 수직(Z) 스캐너와 수평(XY) 스캐너를 분리하여 상호 간섭 배제
    5) 측정 기능 예시: Contact AFM, Non-contact AFM, Lateral force microscopy(LFM)

    * 나노소자공정실(클린룸) 제작 소자 및 공정 확인용 장비입니다. (파우더 타입 측정 불가)

  • Specifications

    1) AFM Main Body : 측정 Resolution : 0.01nm 이하

    2) AFM 스테이지 / 헤드 / 스캐너 : 최대 샘플 사이즈 : 150mm x 150mm

    3) SPM 측정 기능 : Contact AFM, True Non-contact AFM, Conductive AFM, Lateral force microscopy(LFM)

  • Applications