보유장비

PR Asher#2 | 폴리머 건식 식각기

보유장비 관련 정보
연구실/분야
모델명 V15-G
제조사 Plasma Finish
담당자 김강오
연락처 052-217-4182 / ko8809@unist.ac.kr
예약 가능여부 가능
예약단위 1Hr 1일최대예약시간 3Hr
예약Open(~일 전) 14Days 예약취소불가(~일 전) 1Hr
장비위치 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)
  • Description

    O2 플라즈마를 이용하여 웨이퍼 위의 감광재료와 같은 폴리머를 제거할 수 있다.

    This equipment is possible to remove Polymer like PR on wafer.

  • Specifications

    Microwave power (2.54GHz, Max. 500 W)

    Gas : O2, Ar

    Stage : 8 inch size, rotation.

    Chamber temp : Max. 70 ℃

  • Applications

    Remove polymer