AFM | 원자힘 현미경
| 연구실/분야 | |||
|---|---|---|---|
| 모델명 | Park NX20 | ||
| 제조사 | 파크시스템스 | ||
| 담당자 | 강해라 | ||
| 연락처 | 052-217-4167 / [email protected] | ||
| 예약 가능여부 | 가능 | ||
| 예약단위 | 0.5 | 1일최대예약시간 | 4시간 |
| 예약Open(~일 전) | 14일전 | 예약취소불가(~일 전) | 2시간전 |
| 장비위치 | UNIST 108동 B101호 | ||
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Description
1) 본 원자현미경은 클린룸 환경 내 설치된 장비로, 나노-마이크로 소자 측정용으로 제작된 탐침을 시료 표면에 가져갔을 때 생기는 원자 간의 상호 작용력 및 두께를 측정
2) 시료의 표면을 nm 단위 이하로 3차원적 형상 분석함
3) 대기 중에서 극초정밀 분해능으로 도체, 반도체, 부도체 등 모든 시료의 표면 관찰
4) 수직(Z) 스캐너와 수평(XY) 스캐너를 분리하여 상호 간섭 배제
5) 측정 기능 예시: Contact AFM, Non-contact AFM, Lateral force microscopy(LFM)
* 클린룸 제작 소자 및 공정 확인용 장비입니다. (파우더 타입 측정 불가) -
Specifications
1) AFM Main Body : 측정 Resolution : 0.01nm 이하
2) AFM 스테이지 / 헤드 / 스캐너 : 최대 샘플 사이즈 : 150mm x 150mm
3) SPM 측정 기능 : Contact AFM, True Non-contact AFM, Conductive AFM, Lateral force microscopy(LFM)
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Applications