보유장비

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4point-probe | 표면 저항 측정기 / CMT2000N

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

Atomic Layer Deposition | 원자층 증착 장비 / Lucida D100

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Cluster ALD | 원자층 증착 장비 / Atomic premium

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

CMP | CMP (화학적표면 연마 시스템) / ORBIS

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호

contact angle | 접촉각 측정기 / Phoenix 300

배고명 052-217-4189 bgm0421@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B104호(Bldg.108, Room B104)

Cryogenic Probe Station | 극저온탐침측정기 / CRX-4K

배고명 052-217-4189 bgm0421@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B104호(Bldg.108, Room B104)

DC Sputter | 메탈 스퍼터링 시스템 / SRN-120

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)

Deep Si Etcher | 깊은준위 건식식각 장치 / Tegal 200

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Dicing Saw | 기판 절단장치 / AR06DM

배고명 052-217-4189 bgm0421@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Dicing saw#2 | 기판절단장치 / NDS-1012

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 자연과학관(108동) B101호