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Atomic Layer Deposition | 원자층 증착 장비 / Lucida D100

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Cluster ALD | 원자층 증착 장비 / Atomic premium

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

DC Sputter | 메탈 스퍼터링 시스템 / SRN-120

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)

E-beam Evaporator(Temescal) | 전자빔 금속박막증착 장치 / FC-2000

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)

E-beam Evaporator(Woosung) | 전자빔 금속박막증착 장치 / WC-4000

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

HSC Sputter | 고단차피복 박막증착기 / SRN-130

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : NSB 108 Bldg. B101

LP CVD | 저압 화학기상 박막 증착기 / KVL-206

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Parylene Coater | 페럴린 증착장치 / -

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)

PE CVD_#1 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅰ / PEH-600

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

PE CVD_#2 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅱ / PEH-600

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)