Spin Coater | 감광제 도포기
연구실/분야 | |||
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모델명 | JSPD | ||
제조사 | JD Tech | ||
담당자 | 배고명 | ||
연락처 | 052-217-4189 / bgm0421@unist.ac.kr | ||
예약 가능여부 | 가능 | ||
예약단위 | 30min | 1일최대예약시간 | 3hr |
예약Open(~일 전) | 2주전 | 예약취소불가(~일 전) | 2hr |
장비위치 | 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Description
The device which deposits the uniformly thick & thin Photo-resists by high speed.
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Specifications
• Wafer suitability loading size
• Chamber size : 300 mm diameter
• Sample size : piece ~ 6 inch
• Rotation speed : Max. 5,000 rpm
• Vacuum input : - 450 mmHg ~ - 750 mmHg
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Applications
• Adhesion treatment on substrates
• Photo resist coating