보유장비

Spin Coater | 감광제 도포기

Spin Coater
보유장비 관련 정보
연구실/분야
모델명 JSPD
제조사 JD Tech
담당자 배고명
연락처 052-217-4189 / bgm0421@unist.ac.kr
예약 가능여부 가능
예약단위 30min 1일최대예약시간 3hr
예약Open(~일 전) 2주전 예약취소불가(~일 전) 2hr
장비위치 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)
  • Description

    The device which deposits the uniformly thick & thin Photo-resists by high speed.

  • Specifications

    • Wafer suitability loading size

    • Chamber size : 300 mm diameter

    • Sample size : piece ~ 6 inch

    • Rotation speed : Max. 5,000 rpm

    • Vacuum input : - 450 mmHg ~ - 750 mmHg

  • Applications

    • Adhesion treatment on substrates

    • Photo resist coating