보유장비

보유장비 리스트
이름 모델 장비이용의뢰서/예약하기

4point-probe | 표면 저항 측정기 / CMT2000N

이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

AFM | 원자힘 현미경 / Park NX20

강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr
Equipment location : UNIST 108동 B101호

Atomic Layer Deposition | 원자층 증착 장비 / Lucida D100

김보성 052-217-4191 mbosing@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

CCP etcher | CCP etcher (용량성 결합 플라즈마 식각장치) / Telius

이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 나노소자공정실

Cluster ALD | 원자층 증착 장비 / Atomic premium

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

CMP | CMP (화학적표면 연마 시스템) / ORBIS

이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호

Cryogenic Probe Station | 극저온탐침측정기 / CRX-4K

황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B104호(Bldg.108, Room B104)

DC Sputter | 메탈 스퍼터링 시스템 / SRN-120

김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)

Deep Si Etcher | 깊은준위 건식식각 장치 / Tegal 200

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Dicing Saw | 기판 절단장치 / AR06DM

황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)