High Resolution XRD(HRXRD) | 고분해능 X선 회절기
| 연구실/분야 | |||
|---|---|---|---|
| 모델명 | D8 DISCOVERY | ||
| 제조사 | Bruker | ||
| 담당자 | 이경애 | ||
| 연락처 | 052-217-4163 / kalee@unist.ac.kr | ||
| 예약 가능여부 | 불가능 | ||
| 예약단위 | 0.5hr | 1일최대예약시간 | 2hr |
| 예약Open(~일 전) | 5일전 | 예약취소불가(~일 전) | 2시간전 |
| 장비위치 | B101-2, Bldg.102 | ||
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Description
○ 자율사용전용 -> XRD 분석 의뢰는 HRPXRD 장비로 요청해 주세요.
○ 응용: 박막 결정구조 분석
○ 측정범위: 5~110 도
○ 샘플량: 박막 및 호일 1um 이하
○ 샘플준비
- 가로세로 1cm ~ 2cm 크기로 준비(윗면과 바닥 모두 이물질 없는 깨끗한 상태로 준비)○ For self-use only -> Please request XRD analysis using HRPXRD
○ Application: Crystal structure analysis of thin film
○ Measurement range: 5~110 degrees
○ Sample amount: Thin film and foil 1um or less
○ Sample preparation
- Prepare in a size of 1cm to 2cm in width and length(Dust free) -
Specifications
• X-ray source : Cu-closed x-ray tube
• Focus : line focus
• X-ray generator : single, 220 V, 3 kW
• θ-2θ based goniometer
• Angular range
- θ : 0 ~ 360 °
- 2θ : - 110 ° ~ 168 °more
- 2theta range : 8° ~120°
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Applications
• Determination of lattice mismatch between film & substrate
• Determination of dislocation density and characterization of the film
• Measurement of super-lattices in multilayered epitaxial structures
• Determination of the thickness, roughness, and density of the film (XRR)