Wet station_Solvent#2 | 습식세정장치 유기#2
| 연구실/분야 | |||
|---|---|---|---|
| 모델명 | Wet station | ||
| 제조사 | Changshintech | ||
| 담당자 | 이송희 | ||
| 연락처 | 052-217-4190 / lychle2@unist.ac.kr | ||
| 예약 가능여부 | 가능 | ||
| 예약단위 | 30min | 1일최대예약시간 | 3hr |
| 예약Open(~일 전) | 2week | 예약취소불가(~일 전) | 2Hr |
| 장비위치 | 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) | ||
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Description
포토레지스트, 시료 표면 습식 세정공정 (유기용제)
최대 8인치 공정 가능 (물중탕 가열 가능)
아세톤, 이소프로판올 등의 유기용제 사용 가능PR, Surface wet cleaning (Solvent chemical)
Max. 8inch process (double bath heating)
Acetone, 2-propanol etc. -
Specifications
• Chemical supply : Manual
• Chemical temp. : ~40
• Solvent bath : 1set, heater (~40℃)
• 1 QDR bath, 1 Rinse bath, 1 Drain Cup
• Touch pad control
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Applications
• PR cleaning
• Organic particle cleaning
• Lift off process