Spin Coater | 감광제 도포기
| 연구실/분야 | |||
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| 모델명 | SPIN-3000A | ||
| 제조사 | MIDAS | ||
| 담당자 | 이송희 | ||
| 연락처 | 052-217-4190 / lychle2@unist.ac.kr | ||
| 예약 가능여부 | 가능 | ||
| 예약단위 | 30min | 1일최대예약시간 | 3hr |
| 예약Open(~일 전) | 2주전 | 예약취소불가(~일 전) | 2hr |
| 장비위치 | 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) | ||
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Description
The device which deposits the uniformly thick & thin Photo-resists by high speed.
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Specifications
• Wafer suitability loading size
• Chamber size : 300 mm diameter
• Sample size : piece ~ 6 inch
• Rotation speed : Max. 5,000 rpm
• Vacuum input : - 450 mmHg ~ - 750 mmHg
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Applications
• Adhesion treatment on substrates
• Photo resist coating