이름 | 모델 | 장비이용의뢰서/예약하기 |
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Atomic Layer Deposition | 원자층 증착 장비 / Lucida D100Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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Cluster ALD | 원자층 증착 장비 / Atomic premiumEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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DC Sputter | 메탈 스퍼터링 시스템 / SRN-120Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101) |
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E-beam Evaporator(Temescal) | 전자빔 금속박막증착 장치 / FC-2000Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101) |
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E-beam Evaporator(Woosung) | 전자빔 금속박막증착 장치 / WC-4000Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101) |
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HSC Sputter | 고단차피복 박막증착기 / SRN-130Equipment location : NSB 108 Bldg. B101 |
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LP CVD | 저압 화학기상 박막 증착기 / KVL-206Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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PE CVD_#1 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅰ / PEH-600Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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PE CVD_#2 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅱ / PEH-600Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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PE CVD_#3 (TTL) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅲ / FABStar+Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
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