보유장비 리스트

이름	모델	장비이용의뢰서/예약하기
Atomic Layer Deposition | 원자층 증착 장비 / Lucida D100 김보성 052-217-4191 mbosing@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Cluster ALD | 원자층 증착 장비 / Atomic premium 김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
DC Sputter | 메탈 스퍼터링 시스템 / SRN-120 김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
E-beam Evaporator(Temescal) | 전자빔 금속박막증착 장치 / FC-2000 김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호(Bldg, 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
E-beam Evaporator(Woosung) | 전자빔 금속박막증착 장치 / WC-4000 김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
HSC Sputter | 고단차피복 박막증착기 / SRN-130 김형일 052-217-4065 hikim78@unist.ac.kr Equipment location : NSB 108 Bldg. B101	분석의뢰 예약하기
LP CVD | 저압 화학기상 박막 증착기 / KVL-206 강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
PE CVD_#1 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅰ / PEH-600 강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
PE CVD_#2 (SORONA) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅱ / PEH-600 강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
PE CVD_#3 (TTL) | 플라즈마 화학기상 증착기 Ⅲ / FABStar+ 강해라 052-217-4167 haera@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기