보유장비

보유장비 리스트
이름 모델 장비이용의뢰서/예약하기

E-beam lithography | 전자선 노광장치 시스템 / NB3

이루다 052-217-4022 luda30159@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Laser lithography | 레이저 리소그래피 / Picomaster200

황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 나노소자공정실

Photolitho_MA6_#1 | 마스크 정렬노광기 / MA/BA6-8

황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Photolitho_MA6_#2 | 마스크 정렬노광기 / MA6

황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

Photolitho_MDA400S | 미세패턴 정렬 노광기 / MDA-400S

황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)

Schottky FE-SEM with e-beam attachment | 쇼트키 전계방출전자현미경과 부착형 이빔리소그래피 / SU5000/ELPHY Multibeam

이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr
Equipment location : Room B101, Building 108(UNFC)

Spin Coater | 감광제 도포기 / JSPD

배고명 052-217-4189 bgm0421@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Spin coater & Bake system | 감광액 도포 및 베이크 시스템 / SSP200

배고명 052-217-4189 bgm0421@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)