보유장비 리스트

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E-beam lithography | 전자선 노광장치 시스템 / NB3 이루다 052-217-4022 luda30159@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
E-beam lithography | 전자선 노광장치 시스템(JEOL) | 전자선 노광장치 시스템(JEOL) / JBX-8100FS 이루다 052-217-4022 luda30159@unist.ac.kr Equipment location : Room B101, Building 108(UNFC)	분석의뢰 예약하기
Laser lithography | 레이저 리소그래피 / Picomaster200 황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 나노소자공정실	분석의뢰 예약하기
Photolitho_MA6_#1 | 마스크 정렬노광기 / MA/BA6-8 이송희 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Photolitho_MA6_#2 | 마스크 정렬노광기 / MA6 이송희 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Photolitho_MDA400S | 미세패턴 정렬 노광기 / MDA-400S 이송희 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Schottky FE-SEM with e-beam attachment | 쇼트키 전계방출전자현미경과 부착형 이빔리소그래피 / SU5000/ELPHY Multibeam 이송희 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr Equipment location : Room B101, Building 108(UNFC)	분석의뢰 예약하기
Spin Coater | 감광제 도포기 / SPIN-3000A 이송희 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Spin coater & Bake system | 감광액 도포 및 베이크 시스템 / SSP200 이송희 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)	분석의뢰 예약하기