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Schottky FE-SEM with e-beam attachment | 쇼트키 전계방출전자현미경과 부착형 이빔리소그래피 / SU5000/ELPHY Multibeam

이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr
Equipment location : Room B101, Building 108(UNFC)

Spin Coater | 감광제 도포기 / JSPD

황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Spin coater & Bake system | 감광액 도포 및 베이크 시스템 / SSP200

황은정 052-217-4192 hej9204@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg.108, Room B101)