Description

1) 본 원자현미경은 클린룸 환경 내 설치된 장비로, 나노-마이크로 소자 측정용으로 제작된 탐침을 시료 표면에 가져갔을 때 생기는 원자 간의 상호 작용력 및 두께를 측정
2) 시료의 표면을 nm 단위 이하로 3차원적 형상 분석함
3) 대기 중에서 극초정밀 분해능으로 도체, 반도체, 부도체 등 모든 시료의 표면 관찰
4) 수직(Z) 스캐너와 수평(XY) 스캐너를 분리하여 상호 간섭 배제
5) Contact, True-Non contact, Tapping mode

* 나노소자공정실(클린룸) 제작 소자 및 공정 후 단차 및 거칠기 측정 용도
* 파우더 타입 측정 불가
* 나노소자공정실 출입권한이 있는 학생에 한해(안전교육 이수) 셀프유저 교육 진행

* 외부 의뢰 지원하지 않습니다. 양해 부탁드립니다.