AFM | 원자힘 현미경
![AFM](https://ucrf.unist.ac.kr/kor/wp-content/uploads/2023/02/AFM-C-tb-475x518.png)
연구실/분야 | |||
---|---|---|---|
모델명 | Park NX20 | ||
제조사 | 파크시스템스 | ||
담당자 | 강해라 | ||
연락처 | 052-217-4167 / haera@unist.ac.kr | ||
예약 가능여부 | 가능 | ||
예약단위 | 0.5 | 1일최대예약시간 | 4시간 |
예약Open(~일 전) | 14일전 | 예약취소불가(~일 전) | 2시간전 |
장비위치 | UNIST 108동 B101호 |
-
Description
1) 본 원자현미경은 클린룸 환경 내 설치된 장비로, 나노-마이크로 소자 측정용으로 제작된 탐침을 시료 표면에 가져갔을 때 생기는 원자 간의 상호 작용력 및 두께를 측정
2) 시료의 표면을 nm 단위 이하로 3차원적 형상 분석함
3) 대기 중에서 극초정밀 분해능으로 도체, 반도체, 부도체 등 모든 시료의 표면 관찰
4) 수직(Z) 스캐너와 수평(XY) 스캐너를 분리하여 상호 간섭 배제
5) Contact, True-Non contact, Tapping mode
* 나노소자공정실(클린룸) 제작 소자 및 공정 후 단차 및 거칠기 측정 용도
* 파우더 타입 측정 불가
* 나노소자공정실 출입권한이 있는 학생에 한해(안전교육 이수) 셀프유저 교육 진행
* 외부 의뢰 지원하지 않습니다. 양해 부탁드립니다. -
Specifications
- 측정 Resolution : 0.01nm 이하
- 샘플 사이즈 : ~ 6"(150mm x 150mm)
- 스캔 사이즈 : 250nm ~ 100㎛
- 수평(XY) 스캐너 측정영역 : 최대 100㎛ x 100㎛
- 분리형 수직(Z) 스캐너 측정 영역 : 최대 15㎛
- Z Resonant Frequency: 9 kHz
- 캔틸레버 진동 주파수 : 최대 5MHz
-
Applications