보유장비

AFM | 원자힘 현미경

AFM
보유장비 관련 정보
연구실/분야
모델명 Park NX20
제조사 파크시스템스
담당자 강해라
연락처 052-217-4167 / haera@unist.ac.kr
예약 가능여부 가능
예약단위 0.5 1일최대예약시간 4시간
예약Open(~일 전) 14일전 예약취소불가(~일 전) 2시간전
장비위치 UNIST 108동 B101호
  • Description

    1) 본 원자현미경은 클린룸 환경 내 설치된 장비로, 나노-마이크로 소자 측정용으로 제작된 탐침을 시료 표면에 가져갔을 때 생기는 원자 간의 상호 작용력 및 두께를 측정
    2) 시료의 표면을 nm 단위 이하로 3차원적 형상 분석함
    3) 대기 중에서 극초정밀 분해능으로 도체, 반도체, 부도체 등 모든 시료의 표면 관찰
    4) 수직(Z) 스캐너와 수평(XY) 스캐너를 분리하여 상호 간섭 배제
    5) Contact, True-Non contact, Tapping mode

    * 나노소자공정실(클린룸) 제작 소자 및 공정 후 단차 및 거칠기 측정 용도
    * 파우더 타입 측정 불가
    * 나노소자공정실 출입권한이 있는 학생에 한해(안전교육 이수) 셀프유저 교육 진행

    * 외부 의뢰 지원하지 않습니다. 양해 부탁드립니다.

  • Specifications

    - 측정 Resolution : 0.01nm 이하

    - 샘플 사이즈 : ~ 6"(150mm x 150mm)

    - 스캔 사이즈 : 250nm ~ 100㎛

    - 수평(XY) 스캐너 측정영역 : 최대 100㎛ x 100㎛

    - 분리형 수직(Z) 스캐너 측정 영역 : 최대 15㎛

    - Z Resonant Frequency: 9 kHz

    - 캔틸레버 진동 주파수 : 최대 5MHz

  • Applications