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Metal ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 금속 건식 식각기 / FABStar

이송희 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Metal ICP-RIE#2 | 유도결합플라즈마 금속 건식 식각기#2 / ICP380

이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Metal RIE | 메탈 건식 식각장치 / Labstar

이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)