이름 | 모델 | 장비이용의뢰서/예약하기 |
---|---|---|
CCP etcher | CCP etcher (용량성 결합 플라즈마 식각장치) / TeliusEquipment location : 108동 B101호 나노소자공정실 |
분석의뢰 예약하기 | |
Deep Si Etcher | 깊은준위 건식식각 장치 / Tegal 200Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
분석의뢰 예약하기 | |
Dielectric ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 산화막 건식 식각기 / FABstarEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
분석의뢰 예약하기 | |
Dielectric RIE | 건식 식각장치 / LabstarEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
분석의뢰 예약하기 | |
Metal ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 금속 건식 식각기 / FABStarEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
분석의뢰 예약하기 | |
Metal ICP-RIE#2 | 유도결합플라즈마 금속 건식 식각기#2 / ICP380Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
분석의뢰 예약하기 | |
Metal RIE | 메탈 건식 식각장치 / LabstarEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
분석의뢰 예약하기 | |
Plasma PR Stripper | Plasma PR Stripper (플라즈마 감광제 제거기) / PTP300Equipment location : 108동 B101호 |
분석의뢰 예약하기 | |
Plasma Treatment System | 폴리머 건식 식각기 / V15-GEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
분석의뢰 예약하기 | |
Wet station_Acid#1 | 습식세정장치_산#1 / Wet stationEquipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) |
분석의뢰 예약하기 |