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CCP etcher | CCP etcher (용량성 결합 플라즈마 식각장치) / Telius

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 나노소자공정실

Deep Si Etcher | 깊은준위 건식식각 장치 / Tegal 200

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Dielectric ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 산화막 건식 식각기 / FABstar

홍희송 052-217-4194 armada@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Dielectric RIE | 건식 식각장치 / Labstar

홍희송 052-217-4194 armada@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Metal ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 금속 건식 식각기 / FABStar

이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Metal ICP-RIE#2 | 유도결합플라즈마 금속 건식 식각기#2 / ICP380

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Metal RIE | 메탈 건식 식각장치 / Labstar

이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Plasma PR Stripper | Plasma PR Stripper (플라즈마 감광제 제거기) / PTP300

홍희송 052-217-4194 armada@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호

Plasma Treatment System | 폴리머 건식 식각기 / V15-G

홍희송 052-217-4194 armada@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)

Wet station_Acid#1 | 습식세정장치_산#1 / Wet station

김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr
Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)