보유장비 리스트

이름	모델	장비이용의뢰서/예약하기
CCP etcher | CCP etcher (용량성 결합 플라즈마 식각장치) / Telius 이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 나노소자공정실	분석의뢰 예약하기
Deep Si Etcher | 깊은준위 건식식각 장치 / Tegal 200 이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Dielectric ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 산화막 건식 식각기 / FABstar 이송희 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Dielectric RIE | 건식 식각장치 / Labstar 이송희 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Metal ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 금속 건식 식각기 / FABStar 이송희 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Metal ICP-RIE#2 | 유도결합플라즈마 금속 건식 식각기#2 / ICP380 이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Metal RIE | 메탈 건식 식각장치 / Labstar 이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Plasma Treatment System | 폴리머 건식 식각기 / V15-G 이선진 052-217-4193 sunee6210@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Wet station_Acid#1 | 습식세정장치_산#1 / Wet station 이송희 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Wet station_Acid#2 | 습식세정장치 산#2 / Wet station 이송희 052-217-4190 lychle2@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기