보유장비 리스트

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Deep Si Etcher | 깊은준위 건식식각 장치 / Tegal 200 김강오 052-217-4182 ko8809@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Dielectric ICP-RIE | 유도결합 플라즈마 산화막 건식 식각기 / FABstar 홍희송 052-217-4194 armada@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기
Dielectric RIE | 건식 식각장치 / Labstar 홍희송 052-217-4194 armada@unist.ac.kr Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101)	분석의뢰 예약하기