| 이름 | 모델 | 장비이용의뢰서/예약하기 | 
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| Furnace_DRY | 열처리 확산로 / KHD-306Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) | 분석의뢰 예약하기 | |
| Furnace_WET | 열처리 확산로 / KHD-306Equipment location : 108동 B101호 (Bldg. 108, Room B101) | 분석의뢰 예약하기 | |
| RTP | Rapid Thermal Processing (급속 열처리 시스템) / AW610Equipment location : 108 building B101 (Nanofabrication center) | 분석의뢰 예약하기 |