Nano Fabrication Center[Cleanroom] I-line Stepper Equipment Training
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2025.11.19
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| Place | 108동 B101호 | Lecturer | |
| Affiliation | Host/Contact | / hej9204@unist.ac.kr, 4192 | Attached file |
UNIST 양자나노팹(UNFC)의 I line Stepper 신규 장비 도입으로 장비 교육을 진행하고자 합니다.
1. 교육 대상 : 기존 Mask aligner User
2. 교육 목적 : 신규 도입 I-line Stepper 장비 교육
3. 교육 일정 : 11월 19일 수요일 오전 10시
이 장비는 6 inch Wafer만 사용가능하오니, 참고 부탁드립니다.(6 inch Wafer 에 조각 샘플 부착하여 사용 불가능)