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Education & Seminar

Nano Fabrication Center◈ 2026 Cleanroom Equipment training Schedule (1/5 ~ 1/9)

보유장비 관련 정보
Date
2026.01.03~2026.01.09
Place 108동 B101호 Lecturer
Affiliation Host/Contact 김민재 / mjkim@unist.ac.kr / 4064
Attached file

Course Title Time Place Limit Applicant
Mask aligner 1월 5일 14:00~16:00 108동 B101호 3 1
Dicing saw 1월 5일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0
Ellipsometer 1월 5일 17:00~18:00 108동 B101호 3 0
Evaporator 1월 6일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
Sputter 1월 6일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
PE CVD 1월 6일 13:00~14:00 108동 B101호 3 1
LP CVD 1월 6일 14:00~15:00 108동 B101호 3 2
Thermal ALD 1월 6일 15:00~16:00 108동 B101호 3 1
Furnace 1월 6일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0
e-beam lithography(attached) 1월 8일 10:00~12:00 108동 B101호 3 1
Maskless laser writer 1월 8일 14:00~16:00 108동 B101호 3 0
Dry etcher 1월 9일 10:00~11:00 108동 B101호 3 0
Wet station 1월 9일 11:00~12:00 108동 B101호 3 0
Surface profiler 1월 9일 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
PR Stripper 1월 9일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0