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Education & Seminar

Nano Fabrication Center◈ 2026 Cleanroom Equipment training Schedule (1/19 ~ 1/23)

보유장비 관련 정보
Date
2026.01.17~2026.01.23
Place 108동 B101호 Lecturer
Affiliation Host/Contact 김민재 / mjkim@unist.ac.kr / 4064
Attached file

e-beam litho training session is canceled because of the machine breakdown.

Course Title Time Place Limit Applicant
Mask aligner 1월 19일 14:00~16:00 108동 B101호 3 2
Dicing saw 1월 19일 16:00~17:00 108동 B101호 3 1
Ellipsometer 1월 19일 17:00~18:00 108동 B101호 3 1
Evaporator 1월 20일 10:00~12:00 108동 B101호 3 3
Sputter 1월 20일 10:00~12:00 108동 B101호 3 3
PE CVD 1월 20일 13:00~14:00 108동 B101호 3 0
LP CVD 1월 20일 14:00~15:00 108동 B101호 3 0
Thermal ALD 1월 20일 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
Furnace 1월 20일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0
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Maskless laser writer 1월 22일 14:00~16:00 108동 B101호 3 3
Dry etcher 1월 23일 10:00~11:00 108동 B101호 3 3
Wet station 1월 23일 11:00~12:00 108동 B101호 3 2
Surface profiler 1월 23일 15:00~16:00 108동 B101호 3 3
PR Stripper 1월 23일 16:00~17:00 108동 B101호 3 2