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Education & Seminar

Nano Fabrication Center◈ 2025 Cleanroom Equipment training Schedule (8/25 ~ 8/29)

보유장비 관련 정보
Date
2025.08.23~2025.08.29
Place 108동 B101호 Lecturer
Affiliation Host/Contact 김민재 / mjkim@unist.ac.kr, 4064
Attached file

Course Title Time Place Limit Applicant
Mask aligner 8월 25일 14:00~16:00 108동 B101호 3 0
Dicing saw 8월 25일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0
Ellipsometer 8월 25일 17:00~18:00 108동 B101호 3 0
Evaporator 8월 26일 10:00~12:00 108동 B101호 3 1
Sputter 8월 26일 10:00~12:00 108동 B101호 3 1
PE CVD 8월 26일 13:00~14:00 108동 B101호 3 0
LP CVD 8월 26일 14:00~15:00 108동 B101호 3 1
Thermal ALD 8월 26일 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
Furnace 8월 26일 16:00~17:00 108동 B101호 3 1
e-beam lithography(attached) 8월 28일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
Maskless laser writer 8월 28일 14:00~16:00 108동 B101호 3 1
Dry etcher 8월 29일 10:00~11:00 108동 B101호 3 0
Wet station 8월 29일 11:00~12:00 108동 B101호 3 0
Surface profiler 8월 29일 15:00~16:00 108동 B101호 3 1
PR Stripper 8월 29일 16:00~17:00 108동 B101호 3 1