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Education & Seminar

Nano Fabrication Center◈ 2025 Cleanroom Equipment training Schedule (8/18 ~ 8/22)

보유장비 관련 정보
Date
2025.08.16~2025.08.22
Place 108동 B101호 Lecturer
Affiliation Host/Contact 김민재 / mjkim@unist.ac.kr, 4064
Attached file

Course Title Time Place Limit Applicant
Mask aligner 8월 18일 14:00~16:00 108동 B101호 3 2
Dicing saw 8월 18일 16:00~17:00 108동 B101호 3 1
Ellipsometer 8월 18일 17:00~18:00 108동 B101호 3 1
Evaporator 8월 19일 10:00~12:00 108동 B101호 3 1
Sputter 8월 19일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
PE CVD 8월 19일 13:00~14:00 108동 B101호 3 0
LP CVD 8월 19일 14:00~15:00 108동 B101호 3 0
Thermal ALD 8월 19일 15:00~16:00 108동 B101호 3 1
Furnace 8월 19일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0
Dry etching 8월 19일 17:00~18:00 108동 B101호 3 2
e-beam litho(attached) 8월 21일 10:00~12:00 108동 B101호 3 2
Laser lithography 8월 21일 14:00~16:00 108동 B101호 3 0
Wet station 8월 22일 11:00~12:00 108동 B101호 3 0
Surface profiler 8월 22일 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
PR Stripper 8월 22일 16:00~17:00 108동 B101호 3 1