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Education & Seminar

Nano Fabrication Center◈ 2025 Cleanroom Equipment training Schedule (7/7 ~ 7/11)

보유장비 관련 정보
Date
2025.07.05~2025.07.11
Place NanoFab Lecturer
Affiliation Host/Contact 김민재 / 4064/mjkim@unist.ac.kr
Attached file

Course Title Time Place Limit Applicant
Mask aligner 7월 7일 14:00~16:00 108동 B101호 3 3
Dicing saw 7월 7일 16:00~17:00 108동 B101호 3 1
Ellipsometer 7월 7일 17:00~18:00 108동 B101호 3 3
Evaporator 7월 8일 10:00~11:00 108동 B101호 3 0
Sputter 7월 8일 10:00~11:00 108동 B101호 3 3
PE CVD 7월 8일 13:00~14:00 108동 B101호 3 1
LP CVD 7월 8일 14:00~15:00 108동 B101호 3 1
Thermal ALD 7월 8일 15:00~16:00 108동 B101호 3 3
Furnace 7월 8일 16:00~17:00 108동 B101호 3 1
Dry etching 7월 8일 17:00~18:00 108동 B101호 3 2
e-beam litho(attached) 7월 10일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
Laser lithography 7월 10일 14:00~16:00 108동 B101호 3 0
Wet station 7월 11일 11:00~12:00 108동 B101호 3 2
Surface profiler 7월 11일 15:00~16:00 108동 B101호 3 3
PR Stripper 7월 11일 16:00~17:00 108동 B101호 3 1