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Education & Seminar

Nano Fabrication Center◈ 2025 Cleanroom Equipment training Schedule (6/23 ~ 6/27)

보유장비 관련 정보
Date
2025.06.21~2025.06.27
Place 108동 B101호 Lecturer
Affiliation Host/Contact 김민재 / mjkim@unist.ac.kr / 4064
Attached file

Course Title Time Place Limit Applicant
Mask aligner 6월 23일 14:00~16:00 108동 B101호 3 1
Dicing saw 6월 23일 16:00~17:00 108동 B101호 3 2
Ellipsometer 6월 23일 17:00~18:00 108동 B101호 3 0
evaporator 6월 24일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
sputter 6월 24일 10:00~12:00 108동 B101호 3 1
PE CVD 6월 24일 11:00~12:00 108동 B101호 3 0
LP CVD 6월 24일 13:00~14:00 108동 B101호 3 0
Thermal ALD 6월 24일 14:00~15:00 108동 B101호 3 0
Furnace 6월 24일 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
e-beam lithography(attached) 6월 26일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
Maskless laser writer 6월 26일 14:00~16:00 108동 B101호 3 0
Dry etcher 6월 27일 10:00~11:00 108동 B101호 3 0
Wet station 6월 27일 11:00~12:00 108동 B101호 3 0
Surface profiler 6월 27일 15:00~16:00 108동 B101호 3 2
PR Stripper 6월 27일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0