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Education & Seminar

Nano Fabrication Center◈ 2025 Cleanroom Equipment training Schedule (11/3 ~ 11/7)

보유장비 관련 정보
Date
2025.11.01~2025.11.07
Place 108동 B101호 Lecturer
Affiliation Host/Contact 김민재 / mjkim@unist.ac.kr / 4064
Attached file

Course Title Time Place Limit Applicant
Mask aligner 11월 3일 14:00~16:00 108동 B101호 3 0
Dicing saw 11월 3일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0
Ellipsometer 11월 3일 17:00~18:00 108동 B101호 3 0
Evaporator 11월 4일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
Sputter 11월 4일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
PE CVD 11월 4일 13:00~14:00 108동 B101호 3 1
LP CVD 11월 4일 14:00~15:00 108동 B101호 3 0
Thermal ALD 11월 4일 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
Furnace 11월 4일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0
e-beam lithography(attached) 11월 6일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
Maskless laser writer 11월 6일 14:00~16:00 108동 B101호 3 0
Dry etcher 11월 7일 10:00~11:00 108동 B101호 3 0
Wet station 11월 7일 11:00~12:00 108동 B101호 3 0
Surface profiler 11월 7일 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
PR Stripper 11월 7일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0