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Education & Seminar

Nano Fabrication Center◈ 2025 Cleanroom Equipment training Schedule (11/24 ~ 11/28)

보유장비 관련 정보
Date
2025.11.22~2025.11.28
Place 108동 B101호 Lecturer
Affiliation Host/Contact 김민재 / mjkim@unist.ac.kr / 4064
Attached file

Course Title Time Place Limit Applicant
Mask aligner 11월 24일 14:00~16:00 108동 B101호 3 2
Dicing saw 11월 24일 16:00~17:00 108동 B101호 3 3
Ellipsometer 11월 24일 17:00~18:00 108동 B101호 3 1
Evaporator 11월 25일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
Sputter 11월 25일 10:00~12:00 108동 B101호 3 3
PE CVD 11월 25일 13:00~14:00 108동 B101호 3 3
LP CVD 11월 25일 14:00~15:00 108동 B101호 3 0
Thermal ALD 11월 25일 15:00~16:00 108동 B101호 3 2
Furnace 11월 25일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0
e-beam lithography(attached) 11월 27일 10:00~12:00 108동 B101호 3 1
Maskless laser writer 11월 27일 14:00~16:00 108동 B101호 3 1
Dry etcher 11월 28일 10:00~11:00 108동 B101호 3 3
Wet station 11월 28일 11:00~12:00 108동 B101호 3 1
Surface profiler 11월 28일 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
PR Stripper 11월 28일 16:00~17:00 108동 B101호 3 1