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Education & Seminar

Nano Fabrication Center◈ 2025 Cleanroom Equipment training Schedule (11/10 ~ 11/14)

보유장비 관련 정보
Date
2025.11.08~2025.11.14
Place 108동 B101호 Lecturer
Affiliation Host/Contact 김민재 / mjkim@unist.ac.kr / 4064
Attached file

*교육일정 변경 : mask aligner 10일(월) 14 -> 10시, e-beam litho  13일(목) 10시->12일(수) 10시, PR asher 14일(금) 16시->12일(수) 14시, laser litho 13일(목) 14시->17일(월) 16시

Course Title Time Place Limit Applicant
Mask aligner 11월 10일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
Dicing saw 11월 10일 16:00~17:00 108동 B101호 3 3
Ellipsometer 11월 10일 17:00~18:00 108동 B101호 3 3
Evaporator 11월 11일 10:00~12:00 108동 B101호 3 1
Sputter 11월 11일 10:00~12:00 108동 B101호 3 1
PE CVD 11월 11일 13:00~14:00 108동 B101호 3 3
LP CVD 11월 11일 14:00~15:00 108동 B101호 3 0
Thermal ALD 11월 11일 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
Furnace 11월 11일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0
e-beam lithography(attached) 11월 12일 10:00~12:00 108동 B101호 3 2
Maskless laser writer 11월 17일 16:00~18:00 108동 B101호 3 3
Dry etcher 11월 14일 10:00~11:00 108동 B101호 3 3
Wet station 11월 14일 11:00~12:00 108동 B101호 3 3
Surface profiler 11월 14일 15:00~16:00 108동 B101호 3 3
PR Stripper 11월 12일 14:00~15:00 108동 B101호 3 3