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Education & Seminar

Nano Fabrication Center◈ 2025 Cleanroom Equipment training Schedule (10/13 ~ 10/17)

보유장비 관련 정보
Date
2025.10.11~2025.10.17
Place 108동 B101호 Lecturer
Affiliation Host/Contact 김민재 / mjkim@unist.ac.kr / 4064
Attached file

Course Title Time Place Limit Applicant
Mask aligner 10월 13일 14:00~16:00 108동 B101호 3 0
Dicing saw 10월 13일 16:00~17:00 108동 B101호 3 1
Ellipsometer 10월 13일 17:00~18:00 108동 B101호 3 1
Evaporator 10월 14일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
Sputter 10월 14일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
PE CVD 10월 14일 13:00~14:00 108동 B101호 3 1
LP CVD 10월 14일 14:00~15:00 108동 B101호 3 0
Thermal ALD 10월 14일 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
Furnace 10월 14일 16:00~17:00 108동 B101호 3 2
e-beam lithography(attached) 10월 16일 10:00~12:00 108동 B101호 3 1
Maskless laser writer 10월 16일 14:00~16:00 108동 B101호 3 0
Dry etcher 10월 17일 10:00~11:00 108동 B101호 3 2

[Application deadline] 		Wet station 10월 17일 11:00~12:00 108동 B101호 3 3
Surface profiler 10월 17일 15:00~16:00 108동 B101호 3 1
PR Stripper 10월 17일 16:00~17:00 108동 B101호 3 1

When applying for training in [Application deadline], teachers are registered on the waiting list.
The waiting list information will be used as data for additional training schedules in the future.
For more details, please contact the education officer.