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Education & Seminar

Nano Fabrication Center◈ 2025 Cleanroom Equipment training Schedule (12/8 ~ 12/12)

보유장비 관련 정보
Date
2025.12.06~2025.12.12
Place 108동 B101호 Lecturer
Affiliation Host/Contact 김민재 / mjkim@unist.ac.kr / 4064
Attached file

themal ALD is not working, so training is impossible.

Course Title Time Place Limit Applicant
Mask aligner 12월 8일 14:00~16:00 108동 B101호 3 0
Dicing saw 12월 8일 16:00~17:00 108동 B101호 3 1
Ellipsometer 12월 8일 17:00~18:00 108동 B101호 3 0
Evaporator 12월 9일 10:00~12:00 108동 B101호 3 1
Sputter 12월 9일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
PE CVD 12월 9일 13:00~14:00 108동 B101호 3 0
LP CVD 12월 9일 14:00~15:00 108동 B101호 3 0
Furnace 12월 9일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0
e-beam lithography(attached) 12월 11일 10:00~12:00 108동 B101호 3 1
Maskless laser writer 12월 11일 14:00~16:00 108동 B101호 3 0
Dry etcher 12월 12일 10:00~11:00 108동 B101호 3 0
Wet station 12월 12일 11:00~12:00 108동 B101호 3 0
Surface profiler 12월 12일 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
PR Stripper 12월 12일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0