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Education & Seminar

Nano Fabrication Center◈ 2025 Cleanroom Equipment training Schedule (10/27 ~ 10/31)

보유장비 관련 정보
Date
2025.10.25~2025.10.31
Place 108동 B101호 Lecturer
Affiliation Host/Contact 김민재 / mjkim@unist.ac.kr / 4064
Attached file

Course Title Time Place Limit Applicant
Mask aligner 10월 27일 14:00~16:00 108동 B101호 3 3
Dicing saw 10월 27일 16:00~17:00 108동 B101호 3 2
Ellipsometer 10월 27일 17:00~18:00 108동 B101호 3 0
Evaporator 10월 28일 10:00~12:00 108동 B101호 3 1
Sputter 10월 28일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
PE CVD 10월 28일 13:00~14:00 108동 B101호 3 1
LP CVD 10월 28일 14:00~15:00 108동 B101호 3 0
Thermal ALD 10월 28일 14:00~15:00 108동 B101호 3 0
Furnace 10월 28일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0
e-beam lithography(attached) 10월 30일 10:00~12:00 108동 B101호 3 3
Maskless laser writer 10월 30일 14:00~16:00 108동 B101호 3 0
Dry etcher 10월 31일 10:00~11:00 108동 B101호 3 0
Wet station 10월 31일 11:00~12:00 108동 B101호 3 1
Surface profiler 10월 31일 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
PR Stripper 10월 31일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0