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Education & Seminar

Nano Fabrication Center◈ 2025 Cleanroom Equipment training Schedule (10/20 ~ 10/24)

보유장비 관련 정보
Date
2025.10.18~2025.10.24
Place 108동 B101호 Lecturer
Affiliation Host/Contact 김민재 / mjkim@unist.ac.kr / 4064
Attached file

Course Title Time Place Limit Applicant
Mask aligner 10월 20일 14:00~16:00 108동 B101호 3 1
Dicing saw 10월 20일 16:00~17:00 108동 B101호 3 1
Ellipsometer 10월 20일 17:00~18:00 108동 B101호 3 1
Evaporator 10월 21일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
Sputter 10월 21일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
PE CVD 10월 21일 13:00~14:00 108동 B101호 3 2
LP CVD 10월 21일 14:00~15:00 108동 B101호 3 0
Thermal ALD 10월 21일 15:00~16:00 108동 B101호 3 1
Furnace 10월 21일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0
e-beam lithography(attached) 10월 23일 10:00~12:00 108동 B101호 3 1
Maskless laser writer 10월 23일 14:00~16:00 108동 B101호 3 3
Dry etcher 10월 24일 10:00~11:00 108동 B101호 3 1
Wet station 10월 24일 11:00~12:00 108동 B101호 3 0
Surface profiler 10월 24일 15:00~16:00 108동 B101호 3 1
PR Stripper 10월 24일 16:00~17:00 108동 B101호 3 1