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Education & Seminar

Nano Fabrication Center◈ 2025 Cleanroom Equipment training Schedule (6/16 ~ 6/20)

보유장비 관련 정보
Date
2025.06.14~2025.06.20
Place 108동 B101호 Lecturer
Affiliation Host/Contact 김민재 / mjkim@unist.ac.kr / 4064
Attached file

Course Title Time Place Limit Applicant
Mask aligner 6월 16일 14:00~16:00 108동 B101호 3 1
Dicing saw 6월 16일 16:00~17:00 108동 B101호 3 1
Ellipsometer 6월 16일 17:00~18:00 108동 B101호 3 0
evaporator 6월 17일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
sputter 6월 17일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
PE CVD 6월 17일 11:00~12:00 108동 B101호 3 0
LP CVD 6월 17일 13:00~14:00 108동 B101호 3 0
Thermal ALD 6월 17일 14:00~15:00 108동 B101호 3 0
Furnace 6월 17일 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
e-beam lithography(attached) 6월 19일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
Maskless laser writer 6월 19일 14:00~16:00 108동 B101호 3 0
Dry etcher 6월 20일 10:00~11:00 108동 B101호 3 0
Wet station 6월 20일 11:00~12:00 108동 B101호 3 0
Surface profiler 6월 20일 15:00~16:00 108동 B101호 3 1
PR Stripper 6월 20일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0