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Education & Seminar

Nano Fabrication Center◈ 2025 Cleanroom Equipment training Schedule (9/1 ~ 9/5)

보유장비 관련 정보
Date
2025.08.30~2025.09.05
Place 108동 B101호 Lecturer
Affiliation Host/Contact 김민재 / 4064/mjkim@unist.ac.kr
Attached file

Course Title Time Place Limit Applicant
Mask aligner 9월 1일 14:00~16:00 108동 B101호 3 1
Dicing saw 9월 1일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0
Ellipsometer 9월 1일 17:00~18:00 108동 B101호 3 1
Evaporator 9월 2일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
Sputter 9월 2일 10:00~12:00 108동 B101호 3 1
PE CVD 9월 2일 13:00~14:00 108동 B101호 3 1
LP CVD 9월 2일 14:00~15:00 108동 B101호 3 1
Thermal ALD 9월 2일 15:00~16:00 108동 B101호 3 1
Furnace 9월 2일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0
e-beam lithography(attached) 9월 4일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
Maskless laser writer 9월 4일 14:00~16:00 108동 B101호 3 0
Dry etcher 9월 5일 10:00~11:00 108동 B101호 3 0
Wet station 9월 5일 11:00~12:00 108동 B101호 3 1
Surface profiler 9월 5일 15:00~16:00 108동 B101호 3 1
PR Stripper 9월 5일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0