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Education & Seminar

Nano Fabrication Center◈ 2025 Cleanroom Equipment training Schedule (8/4 ~ 8/8)

보유장비 관련 정보
Date
2025.08.02~2025.08.08
Place 108동 B101호 Lecturer
Affiliation Host/Contact 김민재 / mjkim@unist.ac.kr / 4064
Attached file

Course Title Time Place Limit Applicant
Mask aligner 8월 4일 14:00~16:00 108동 B101호 3 1
Dicing saw 8월 4일 16:00~17:00 108동 B101호 3 2
Ellipsometer 8월 4일 17:00~18:00 108동 B101호 3 1
Evaporator 8월 5일 10:00~12:00 108동 B101호 3 2
Sputter 8월 5일 10:00~12:00 108동 B101호 3 0
PE CVD 8월 5일 13:00~14:00 108동 B101호 3 0
LP CVD 8월 5일 14:00~15:00 108동 B101호 3 0
Thermal ALD 8월 5일 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
Furnace 8월 5일 16:00~17:00 108동 B101호 3 0
Dry etching 8월 5일 17:00~18:00 108동 B101호 3 2
e-beam litho(attached) 8월 7일 10:00~12:00 108동 B101호 3 1
Laser lithography 8월 7일 14:00~16:00 108동 B101호 3 1
Wet station 8월 8일 11:00~12:00 108동 B101호 3 0
Surface profiler 8월 8일 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
PR Stripper 8월 8일 16:00~17:00 108동 B101호 3 3