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Education & Seminar

Nano Fabrication Center◈ 2025 Cleanroom Equipment training Schedule (6/9 ~ 6/13)

보유장비 관련 정보
Date
2025.06.07~2025.06.13
Place Lecturer
Affiliation Host/Contact 김민재 / mjkim@unist.ac.kr / 4064
Attached file

◈ 2025 Cleanroom Equipment training (6/9 ~6/13)

Course Title Time Place Limit Applicant
Mask aligner 6월 9일 14:00~16:00 3 1

[Application deadline] 		Dicing saw 6월 9일 16:00~17:00 3 3

[Application deadline] 		Ellisometer 6월 9일 17:00~18:00 3 3
evaporator 6월 10일 10:00~12:00 3 0
sputter 6월 10일 10:00~12:00 3 2
PE CVD 6월 10일 11:00~12:00 3 1
LP CVD 6월 10일 13:00~14:00 3 0
Thermal ALD 6월 10일 14:00~15:00 3 0
Furnace 6월 10일 15:00~16:00 3 0
Dry etching 6월 10일 16:00~17:00 3 1
e-beam litho 6월 12일 10:00~12:00 3 1
Laser litho 6월 12일 14:00~16:00 3 0
Wet station 6월 13일 11:00~12:00 3 1

[Application deadline] 		Surface profiler 6월 13일 15:00~16:00 3 3
PR Stripper 6월 13일 16:00~17:00 3 0