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Education & Seminar

Nano Fabrication Center◈ 2025 Cleanroom Equipment training Schedule (6/30 ~ 7/4)

보유장비 관련 정보
Date
2025.06.28~2025.07.04
Place 108동 B101호 Lecturer
Affiliation Host/Contact 김민재 / mjkim@unist.ac.kr / 4064
Attached file

Course Title Time Place Limit Applicant
Mask aligner 6월 30일 14:00~16:00 108동 B101호 3 3
Dicing saw 6월 30일 16:00~17:00 108동 B101호 3 3
Ellipsometer 6월 30일 17:00~18:00 108동 B101호 3 3
evaporator 7월 1일 10:00~12:00 108동 B101호 3 2
sputter 7월 1일 10:00~12:00 108동 B101호 3 1
PE CVD 7월 1일 13:00~14:00 108동 B101호 3 3
LP CVD 7월 1일 14:00~15:00 108동 B101호 3 1
Thermal ALD 7월 1일 15:00~16:00 108동 B101호 3 0
Furnace 7월 1일 16:00~17:00 108동 B101호 3 1
e-beam lithography(attached) 7월 3일 10:00~12:00 108동 B101호 3 2
Maskless laser writer 7월 3일 14:00~16:00 108동 B101호 3 3
Dry etcher 7월 1일 16:00~17:00 108동 B101호 3 3
Wet station 7월 4일 11:00~12:00 108동 B101호 3 3
Surface profiler 7월 4일 15:00~16:00 108동 B101호 3 3