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교육&세미나

Nanofabrication Lab◈ 2026 Cleanroom Equipment training Schedule (6/22~ 6/26)

보유장비 관련 정보
일      시
2026.06.19~2026.06.26
장      소 108동 B101호 강      사
소      속 진행자 / 연락처 김민재 / mjkim@unist.ac.kr / 4064
첨부파일

Ellipsometer, PE CVD and ALD training has been canceled due to the instructor’s vacation.

구분 교육명 시간 장소 정원 신청수
Mask aligner 14:00~16:00 108동 B101호 3 3
Dicing saw 16:00~17:00 108동 B101호 3 1
- - - 3 0
Evaporator 10:00~12:00 108동 B101호 3 3
Sputter 10:00~12:00 108동 B101호 3 3
- - - 3 0
LP CVD 14:00~15:00 108동 B101호 3 1
- - - 3 0
Furnace 16:00~17:00 108동 B101호 3 1
e-beam litho(attached) 10:00~12:00 108동 B101호 3 2
Maskless laser writer 14:00~16:00 108동 B101호 3 1
Dry etcher 10:00~11:00 108동 B101호 3 3
Wet station 11:00~12:00 108동 B101호 3 3
Surface profiler 15:00~16:00 108동 B101호 3 1
PR Stripper 16:00~17:00 108동 B101호 3 1