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교육&세미나

Nanofabrication Lab◈ 2026 Cleanroom Equipment training Schedule (9/28~10/2)

보유장비 관련 정보
일      시
2026.09.25~2026.10.02
장      소 QN Fab 강      사
소      속 진행자 / 연락처 김민재 / mjkim@unist.ac.kr/4064
첨부파일

** ICP etcher training schedule has been changed from Fri 10:00 to Thu 10:00

구분 교육명 시간 장소 정원 신청수
Evaporator 10:00 QN Fab 3 2
Sputter 10:00 QN Fab 3 3
PE CVD 13:00 QN Fab 3 3
LP CVD 14:00 QN Fab 3 1
ALD 15:00 QN Fab 3 0
Furnace 16:00 QN Fab 3 0
e-beam litho(attached) 10:00 QN Fab 3 3
Maskless laser litho 14:00 QN Fab 3 3
ICP etcher 10:00 QN Fab 3 3
Wet station 11:00 QN Fab 3 3
Surface profiler 15:00 QN Fab 3 2
PR stripper 16:00 QN Fab 3 2